Un outil indispensable pour la maîtrise du process
Grâce à notre produit unique RS100, développé en interne, nous offrons une solution avancée de régulation du plasma, conçue pour répondre aux exigences industrielles les plus pointues, tout en restant optimisée pour une intégration efficace en production.
En minimisant les variations du plasma, il garantit une déposition homogène et reproductible, optimisant l’adhérence, la qualité des dépôts et la stabilité du procédé.
Facile à intégrer en production, il permet de maîtriser les paramètres critiques du dépôt PVD avec une technologie optimisée et sans complexité inutile.
Spécifications du régulateur de plasma | RS100
Spécifications Électriques
Massflow controler:
Fibre optique (connecteur SMA),
Connecteur DB9 pour le démarrage à distance du processus
Fibre optique (connecteur SMA),
Connecteur DB9 pour le démarrage à distance du processus
Spécifications Optiques
Six différentes longueurs d'onde analysables:
430 – 470nm, 480 – 520nm, 530 – 570 nm, 550 – 590nm, 580 – 620nm, 630 – 670nm.
430 – 470nm, 480 – 520nm, 530 – 570 nm, 550 – 590nm, 580 – 620nm, 630 – 670nm.
Modes de Régulations
4 modes de régulation :
Contrôle manuel, Contrôle par consigne, Contrôle en rampe, Contrôle par recette avec jusqu’à 5 étapes
Avec gains PID ajustables, temps d’intégration du capteur et limites min-max du massflow.
Contrôle manuel, Contrôle par consigne, Contrôle en rampe, Contrôle par recette avec jusqu’à 5 étapes
Avec gains PID ajustables, temps d’intégration du capteur et limites min-max du massflow.
